Model LHE-6H-6 Dry Liquid Helium Low Temperature Prober Station

LHe-6H-6 干式超低温探针台

LHe-6H-6 干式低温探针台可以对器件进行低温性能的测试，器件的最大尺寸可达到 150mm(6英

寸)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、阻抗电容测量、DC 测量、RF 测量提供一个

低温真空及光电测试平台。光电、MEMS，量子点和量子线、纳米电子材料、有机器件、半导体材料是在

低温探针台在进行测量的比较典型的材料器件。

利用压缩机实现变温制冷系统，无需灌装，最低温可达6.5K。同时配备自动温度控制器（温

度稳定度0.01K)，带有触控界面和LabView驱动，工作温度范围在6.5K到400K。热辐射屏大大降低了黑体

辐射，提高了制冷效率。冷头上安装加热器，减小了样品的温度梯度，加上热辐射屏上的加热器，整个系

统可以实现快速的变温。

低温探针台配置的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。

应用

➢ 光电、射频、MEMS、量子等材料及器件

功能指标

 变温样品台尺寸：2英寸(50mm）直径【标配】、 4英

寸，6英寸。

 变温范围：6.5K~400K。控温稳定性优于±0.05K。

 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光

纤。

 系统直流漏电<100fA@1V(半导体分析仪测试)

 真空腔体：<4.5*10^-6 Torr （托) 或 6.0*10^-4Pa(帕)

 探针控制：标配6个探针臂。XYZ调节范围

110mm*50mm*30mm，调节精度优于3um。

 显微镜：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：

1.4X~9X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700

倍。分辨率<2um。