核心优势

技术参数

一、探针台的系统组成包括：

1.探针台体

2.高低温卡盘

3.温控系统 

4.金相显微镜

5.观察摄像组件   

6.探针座&夹具  

7.直流探针     

8.开尔文探针

9.射频/微波探针 

10.光波探针

11.转接头            

12.其他升级组件   

二、详细描述：

（一）总体规格特点: 

1.重量:80kg @6inch台体，100kg @8inch台体，120kg @12inch台体  

2.尺寸:580mm宽×520mm深×700mm高 @6inch台体

3.760mm宽×670mm深×750mm高 @8inch台体

4.930mm宽×900mm深×800mm高 @12inch台体  

5.优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。 

（二）针座台面规格: 

1.U型固定台面，抛光不锈钢+防腐氧化材质，平整度：±3μm  

2.平台台面快速线性升降，升降行程有0mm/0.3mm/3mm三档扣调节，在探针点测时可以快速抬针，方便对待测点的重选择  

3.平台台面微调线性升降，微调升降行程20mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测时方便对待测点的复位，或者点测相同排列的待测点时，实现多根探针或光纤的高效重复测量。  

（三）载台规格：（即chuck） 

1.6英寸/8英寸/12英寸载台，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附样品，小吸附尺寸为0.5mm×0.5mm，吸附尺寸6×6英寸/8×8英寸/12×12英寸

2.载台X-Y移动平台，行程6×6英寸/8×8英寸/12×12英寸，保证待测样品的每一点都能够点测到，同时配备微调旋钮，微调精度为1μm，无回差线性调节  

3.载台X-Y移动平台可升级气浮快速移动，移动范围不小于6×6英寸/8×8英寸/12×12英寸，方便快速定位测试点  

4.载台Y方向快速抽进抽出，行程2英寸，方便快递取放样品    

5.载台水平θ角度调节范围0°～360°，并微调±10°，微调精度0.01°  

6.载台电学独立悬空，可接地或加载背栅电压。  

（四）显微镜操控规格: 

1.显微镜后侧有X-Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在X-Y方向的移动，移动范围50mm×50mm，精度1μm  

2.显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm  

3.显微镜快速倾仰±30°功能，方便快速切换多组长焦物镜，避免镜头切换时撞针  

4.显微镜可升级Z轴方向气动快速升降功能，方便切换多组长焦物镜和快速重复聚焦。