FT-3110系列全自动四探针测试仪 方阻仪

一.功能描述：

四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.  报表输出数据统计分析.

二.适用范围

FT-3110系列全自动四探针测试仪 方阻仪

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.

规格型号FT-3110AFT-3110B（可扩展）

1.电阻10^-5～2×10^5Ω10^-6～2×10^5Ω

2.方块电阻 10^-5～2×10^5Ω/□10^-6～2×10^5Ω/□

3.电阻率 10^-6～2×10^6Ω-cm10-7～2×106Ω-cm

4.测试电流 0.1μA.1μA.10μA，100µA，1mA，

10mA，100mA1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.电流精度 ±0.1% 

6.电阻精度 ≤0.3%

7.PC软件操作PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等

8.压力范围（选购）探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调

9.探针针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%

铜镀金或钨钢材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制

10.可测晶片尺寸载台选购选购:载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）其他规格可定制

11.分析模式单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.重复性单点重复性：重复性≤0.5% 

13.防护功能具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.电源输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<600W 

FT-3110系列全自动四探针测试仪 方阻仪