温度波动度

±0.5℃

温度均匀度

≤±2℃

温度过冲

≤5℃

工作室尺寸（单腔）

根据要求定制

洁净度（class）

100級（符合FED-STD209E 标准）

功率

根据内部尺寸而定

气流控制方式

强制循环通风，控制系统根据设定之温度点通过PID 自动运算输出的结果去控制加热器的输出量，最终达到平衡

气流循环装置

内置空调间、循环风道及通风电机

加热方式

优质不锈钢加热器

隔板

每个腔体配二个隔板，用不锈钢板冲孔制成

箱体外壁材料

冷轧钢板静电喷塑

箱体内壁材料

为不锈钢板内壁氩弧焊（SUS316 或SUS304）

保温材料

优质超细纳米玻璃棉

氮气接口

能将箱内空气排出，确保烘烤的硅片是在氮气中进行；氮气流量计需安装在箱体的正面，进气口安装在箱体的后部，

电磁门锁功能

有定时开启门锁功能，设备装有电磁锁和定时器，设备运行时电磁锁动作将门锁住，当定时时间到后电磁锁断电将门打开，同时进行声光提醒（注：定时器只控制电磁锁和声光提醒器，不需控制加热器和电机）。设备还装有自动/手动定时开关，可在不需定时的时候手动开启电磁锁（定时器具有复位功能

超温保护装置

采用独立的超温保护装置，确保温度不超限；当保护装置动作时自动切断加热电源并进行声光报警、超温保护控制仪采用LED 显示控制器

计时方式

温度达到工艺设定值时开始计时，并在计时结束时有蜂鸣提示

排风口

直径50mm的排风口,安裝有调节阀

腔门密封性

密封条耐高温>300℃

接地安全

安全保护，接地线

电气安全保护

风机过载保护;加热系統超溫保护