智能型无尘无氧烘箱 高温氮气无氧PI烤箱 PI固化炉
一、智能型无尘无氧烘箱 高温氮气无氧PI烤箱 PI固化炉核心功能定位
1.1 工艺适配场景
✅ 精密热处理
电子胶体固化：银胶/BCB胶/光刻胶高温固化（300-450℃）
晶圆加工：退火处理、PI膜烘烤（±1℃波动精度）
陶瓷烧结：电子陶瓷材料无尘烘干（Class100洁净环境）
✅ 行业覆盖矩阵
| 核心行业 | 典型应用产品 | 工艺优势 |
|---|---|---|
| 半导体制造 | 晶圆、触摸屏ITO玻璃 | 氧含量≤20ppm防氧化 |
| 显示面板 | LED封装、OLED基板 | 温度均匀度≤±1.5%℃ |
| 新能源 | 光伏电池板、PCB板 | 15℃/min急速升温（定制版） |
二、技术参数体系
2.1 核心配置参数
| 参数类别 | 技术指标 | 可定制选项 |
|---|---|---|
| 箱体结构 | 内箱SUS304不锈钢/外箱冷轧板喷塑 | 全不锈钢/防爆涂层 |
| 工作室尺寸 | 标准规格：300×500×700mm | 非标尺寸定制 |
| 温控系统 | RT+50~450℃ | 分辨率0.1℃ | 波动≤±1℃ | 600℃高温扩展 |
2.2 环境控制系统
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▶ 洁净度：Class100 └ 可选配Class1000 ▶ 氧含量控制：≤10ppm（N₂置换系统） └ 配备在线氧分析仪 ▶ 热交换系统：线性降温4℃/min（80℃以上）
2.3 智能操作模块
- 控制系统
：工业级PLC+HMI触摸屏
- 程序编排
：支持30组999段程式设定
- 数据追溯
：六点温度记录仪（符合FDA 21 CFR Part 11）
三、设备型号对照表
| 设备型号 | 工作室容积 | 适用生产场景 |
|---|---|---|
| JS-GYM040-AI | 0.043m³ | 实验室研发/小批量试制 |
| JS-GYM090-AI | 0.091m³ | 中型元器件连续生产 |
| JS-GYM125-AI | 0.125m³ | 光伏电池板热处理 |
| JS-GYM210-AI | 0.210m³ | 晶圆厂量产型工作站 |
四、智能型无尘无氧烘箱 高温氮气无氧PI烤箱 PI固化炉技术亮点说明
三位一体精准控制
- 温度维度
：PID算法+SSR控制，达成±0.1%超调抑制
- 洁净维度
：HEPA+ULPA双级过滤系统，颗粒物截留率≥99.995%
- 氧控维度
：氮气或真空置换+气体循环复合系统，残氧量达标准
冀公网安备13010402003046号
