表面清洗：将产品表面的有机污染物清除，主要以去除弱键（典

型的以-CH键为代表）等有机污染物为主。

表面活化：在材料表面形成极性基团，主要以形成羰基

（Carbonyl），羧基（Carbboxl）,烃基（Hydroxyl）等有机基团为

主，这些极性基团对亲水性有积极作用，用来代替弱健，主要应用

于粘结和涂覆前处理。

表面刻蚀：利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相等离

子体与材料表面的有机物基体发生化学反应，生成CO、CO2、H2O蒸

汽等气体，从而达到表面刻蚀的目的。

表面涂镀：在等离子涂镀设备中同时通入两种或多种工艺气体进

入反应舱，气体在离子环境下裂解，然后再二次聚合，生产新物质，

这种应用比活化、清洗的要求要严格很多。典型的应用是保护层的

形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似聚四氟（PTEE）材质的涂

镀、防水镀层等。