1. 进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；

2. 真空腔内置4条轨道，可一次处理4片物料，UPH可达500载板/小时；

3. 所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制，在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求，与常规等离子清洗系统相比，降低了人工搬运过程，提高了设备自动化水平。