高精度二维晶体定向仪利用X射线衍射(XRD)原理, 通过测量晶体绕法线转动到不同方位角的Bragg角变化,反演局部晶体表面与镜面夹角△θ,并通过二维扫描实现对整个晶体面△θ的描绘,最终实现二维，晶体面型误差的检测。

产品特点 Product Features

●结构紧凑，集成度高

●可进行系统集成服务

●具有空间分辨，实现二维检测

●软件界面友好，人机交互性强

●通过几何关系反演，精度高

●不依赖标准晶片标定0位，减少系统误差