满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求；

    以光刻机用激光干涉测量系统为基础，

    在保留高稳定性、高精度、高采样速率好的性能的同时，

    将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里，

    一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验；

    典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。

 系统组成：
     LH2000激光测头及附件
     环境补偿单元
     LaserLC测量软件
     线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等）
     光学调整附件
     三脚架及其他测量附件
 

（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）