产品特性 / Product characteristics

LS系列：

 同时具有高速排气和低消耗电力特点的干泵。有4个机种可供选择，根据设备的大小、使用条件等可选择条件适合的排气量干泵。

CR系列：

 CR系列VerB为取得国际标准的空冷式工具型干泵。由于排气室中不使用油，转子和圆筒为非接触运转，可长时间稳定运转。

GR系列是基于拥有大量实绩和信赖性的LR/HR系列，面向一般产业设计的构造较为简单的干泵。

LR/HR/UR系列

 LR/HR/UR系列采用独自开发的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了在CVD、刻蚀等的硬件工艺的 高耐久性。在产线工艺上，和ECO-SHOCK一起使用，可实现降低80%的消耗电力。 此外，高维修性能和低噪音，可对应全机种CE（可选项）。 可进一步了解ECO-SHOCK详细情况。

干泵节能适配器ECO-SHOCK ES10

ECO-SHOCK适配器配合选择使用的干泵，可实现大幅度节省电力能源。

干泵节能适配器ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK是一种配合干泵使用可实现大幅降低消耗电能的适配器。

ES4A需要在装载室频繁取出放入的情况下，或者像涡轮分子泵那样达到压力需要长时间运转的前级干泵的电能削减是更合适的。