iGX干式真空泵系列为大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这使其成为受欢迎的干泵之一，目前已在大多数的300mm工厂中安装了20,000套以上。iGX系列包括MicroTIM工具接口和以太网连接，允许通过网页查看主要数据，同时包括一套的网络选项，可确保泵持续运转。

iGX泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载制程。模块化设计允许用户对iGX干泵进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装选项，包括工具上、近程和远程操作。

通过使用iGX干泵技术，整个工厂通常可以在设施成本方面实现40%*的节省（与iL/iH干泵相比）。

基于包含200个工具、537台泵/70%iGX泵、30%iH泵/iGX配有恒流水阀的300mm美国工厂。

目标应用包括：

PVD、电介质刻蚀、导体刻蚀、金属刻蚀、植入源，客户也将iGX用于一系列清洁和轻负载应用。

主要特性和优势

低功耗和零预防性维护，可降低拥有成本。

小巧轻便，可使用灵活的安装选项。

高性能电机和变频器驱动装置。

待机模式使用环保模式，功耗更低。

高导热性材料和优良设计可实现低水流量和冷却。

精密陶瓷轴承可确保高负载容量，因而更加可靠。

低振动和小于55dB(A)的低噪声，可以安装在操作中同附近。