阿尔卡特SD特点：

处理能力可靠性高

·宽交叉槽可容纳大量粉尘和颗粒

·准确而闭合的温控系统、高操作温度以及从进口到出口的气体温度的线性增长

·各级采取立式抽吸防止吹扫腔中粉尘聚集 

主要应用于半导体制造

·洁净：阿尔卡特真空泵无摩擦无须油润滑，也就无粉尘污染的风险。

·安静：阿尔卡特真空泵所有型号均含一台静音装置，无须再安装外部消声装置。

· 兼容半导体S2 

价廉物美

·工作压强以及极限压强下低能耗

·运行温低，用水量非常小。

·用户可轻松设定氮净化水平，应用于清洁环境无须净化。