该A3P系列特别设计，以减低营运成本。

     涵盖范围广泛的抽水速度，从100m3/h 到1000m3/h，A3P系列每300毫米响应一次，以较低的工作成本达到中等真空要求。

    与传统的抽真空方案相比，节省了高达50％的电力消耗，其中以较低的冷却水流量，和降低的氮气吹扫为主要的关键特征。所有这一切是减少高达50％的消耗的原因！

特点：                   

·低公用事业费：1000m3/h 泵只要1.5kW

·紧凑的设计：只有310mm宽

·复合罗茨技术

·耐腐蚀

·低噪声

·低振动

·与 Semi S2-0706兼容

主要优点：

·降低了总成本

·占地面积小，节省空间

·高可靠性

· 符合半导体加工规则

应用：

·蚀刻（氧化，聚合）

· RTP协议

·分解/灰化

·植入源