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深圳市一泽自动化设备有限公司
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高精度气浮旋转平台
1. 核心工作原理气膜形成:通过转台底部的精密气孔阵列(节流孔)喷射高压气体(0.3-0.8MPa),在转盘与底座间形成3-20μm厚度的
2025-07-02
气浮旋转平台
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2025-07-02
手动气浮转台
转速可达5000/分钟,最边缘处跳动小于0.3微米;气膜刚度大,客户可自行集成电机和编码器;可用于晶圆减薄、抛光,既可以作为载物台
2025-06-24
气浮转台
气浮转台配备用于位置控制的高精度旋转编码器,可以通过关闭进气来夹紧转子。核心组件:电机:作为动力源,驱动转台旋转,通常采
2025-06-24
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