精密气浮运动平台是一种基于气浮轴承技术的超精密运动设备，通过空气膜悬浮实现无摩擦运动，广泛应用于半导体、光学、航空航天等领域，无摩擦运动，精度高，高动态免维护性能，支持非标定制，气浮主轴及转台是一种基于气浮轴承技术的高精度旋转装置，精密气浮转台是一种基于气浮轴承技术的高精度旋转设备，‌定位精度‌最高可达1.14角秒，重复定位精度≤0.61角秒‌，轴径向跳动≤100nm无摩擦得高精度加工运动部件，转速高 寿命长 精度高