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粒径1-10μm,更适合晶圆、MEMS芯片清洗

日期:2023-08-31    浏览:52

经过半导体芯片清洗的经验,我们需要改善更多。为了在精密清洗有更大突破,

我们已经成功地完成了 JP-5新部件的设计、制造和测试。爆破效果良好,应用于微晶片清洗。颗粒直径很小,可以肯定是1到10微米。喷雪均匀,无脉动,表面柔软,便于清洗。我们预期这项发展会大大改善EMES芯片的清洗结果。

安装的新部件是 DosingUnitDO-M,而不是 AC-S。对于配置在半导体芯片清洗行业的精度又进一层。

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