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兼顾超小行程和长行程的平移台 -无回程间隙，具内秉刹车功能 -10纳米精度，纳米级位置稳定性

-无磁、无油、无电磁干扰，真空兼容 -快速、精准、纳米级定位 -超薄设计，结构紧凑