本款CVD管式炉工作温度为300℃至1600℃，配备真空泵，气体混合装置。我们的CVD管式炉采用了温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
高温真空管式炉特点
额定温度：
1200℃（HRE电阻丝加热）
1400℃ （硅碳棒加热）
1600℃ （硅钼棒加热）智能化51段可编程自动控制
双层风冷结构；炉壳表面温度低于50℃
304不锈钢双层密封法兰
两端可调节法兰支撑结构，延长炉管使用寿命
超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电
安全保护当炉体漏电时自动断电
升温速率≦20 ℃ /分
控温精度±1 ℃
真空度-0.08MPa
配置分子泵机组，真空度可达7×10^(-3)Pa
冀公网安备13010402003046号